檢測原理：日本SMC數字式流量開關

產品圖片

描述 PFM7 系列 2色顯示式 數字式流量開關 顯示一體型

●空氣、 N2、Ar、CO2

●無潤滑脂

●與流量調節閥一體化

●小型、輕量、節省空間

字段描述 字段取值 取值描述

額定流量范圍(流量范圍) 50 1～50(25)L/min

流量調節閥 S 有

接管口徑 01 Rc1/8

配管引出方向 - 直通

輸出規格 A NPN2輸出

單位規格 M SI單位固定

使用說明書 - 附使用說明書(日英雙語)

校正證明書 - 無校正證明書

可選項1 - 帶插頭的導線(2m)

可選項2 S 托架(附流量調節閥用)

訂制規格 X731 對應氬(Ar)、二氧化碳(CO2)混合氣體

檢測原理

該MEMS傳感器芯片由上游溫度測量傳感器（Ru）和下游溫度測量傳感器（Rd）組成，它們從安裝在膜上的鉑薄膜涂層加熱器（Rh）的對稱放置，以及環境溫度傳感器（ Ra）用于測量氣體溫度。 原理如右圖所示。 （a）當氣體是靜止的時，以Rh為的加熱氣體的溫度分布是均勻的，并且Ru和Rd具有相同的電阻。 （b）當氣體從左側流動時，它擾亂了加熱氣體的溫度分布的平衡，并且Rd的電阻變得大于Ru的電阻。 Ru和Rd之間的電阻差異與流速成正比，因此電阻的測量和分析可以顯示氣體的流動方向和速度。 Ra用于補償氣體和/或環境溫度。

檢測原理：日本SMC數字式流量開關